主要用途:本設備主要用于大院校研究和開發納米單層膜;如各種硬質膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料。可以行直接濺射,亦可以實現反應濺射。
主要點:結構簡捷、操作簡便,真空度維護,安可靠。
鍍膜機應安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內,并具備清潔水源、及220V的穩定電壓等條件的地方。
1、地面的基本水平度要經過調整,不得低不平;
2、環境溫度:10℃~30℃;
3、相對濕度:不大于75%;
4、耗水量(水溫度≤25℃,2.5Kg≥水壓≥1.5Kg):約0.2T/h;
5、水質要求:
矽酸硬度<6度,PH值:7-8,電導率:200us/cm,沉積率:<200mg/L。
6、電壓: 220V,50HZ,
電壓波動范圍: 198~231V;
頻率波動范圍:49~51Hz;
7、水壓:0.3~1Kg/cm2或0.03~0.1MPa/cm2;
8、充入氣體純度99.9%或以上;
9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。